Mit dem Anspruch an höchste Reinheit von Carriern, Boxen, SMIF-Pod’s und FOUP's sowie maximaler Flexibilität für unsere Kunden – gehören die beiden Cleaner seit Jahren zum AP&S Portfolio.
Zuverlässig, praktisch und kompakt, so lassen sich die Tools zusammenfassend beschreiben. Dank eines smarten Halterungssystem, welches charakteristisch für alle AP&S Cleaner ist, können alle Arten von Wafercarriern und -boxen in einem Gerät gereinigt werden. Die Anpassung an die Beladung mit verschiedenen Boxentypen geschieht im Handumdrehen. Auch die Beladekapazität überzeugt mit bis zu 8 Sätzen von Standard 4"- 8" Carriern und Boxen auf der CBII und bis zu 16 Sätzen von Standard 4"- 6" Carriern und Boxen oder bis zu 8 Sätzen von SMIF oder FOUP/FOSB auf der CBIII. Schnelle Beladung, attraktive TCO-Werte und kurze Prozesszeiten unterstützen effiziente Ketten in der Halbleiterfertigung. Eine praktische Schleusenfunktion zwischen Grau- und Reinraum ist ein weiterer Vorteil der Reiniger.
Möchten Sie mehr über die AP&S Cleaner-Familie CBII, CBIII und den preisgekrönten CleanSurF® erfahren? Kontaktieren Sie bitte unser Vertriebsteam: sales@ap-s.de
